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专利名称
一种用于几何量分辨力校准的精密位移台
发明人
蒋丽、汤江文、彭元辉、薛靓、谢开强、杨毓军
专利类别
实用新型
专利号
ZL202220078025.3
承担单位
申请日期
2022-01-13
授权日期
2022-08-09
内容摘要
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