光学所积极推进《相移式激光平面干涉仪》国家校准规范制定工作
上传日期:2019-06-25
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自承担《相移式激光平面干涉仪》国家校准规范的制定任务以来,中国测试技术研究院光学研究所作为主要校准规范制定单位,在完成校准规范文本制定后,亟需用科学可靠的实验数据来对其支撑。5月26日至29日,由光学所领导带队一行三人前往苏州,参加由中国测试技术研究院等单位和国内该设备生产企业,联合组织的相移式激光平面干涉仪平面度量值比对实验。最终实验数据满足所制定的国家校准规范要求。《相移式激光平面干涉仪》国家校准规范的制定工作,为平面度量值传递由平面抽样点拟合平面测量向平面度绝对面形测量,由人眼手动测量向自动化测量提供了技术支持,为我国平面度量值传递技术的提升作了阶段性的基础工作。