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论文名称
一等量块光波干涉测量要件
发表刊物
《红外与激光工程》
发表年度
2008
论文作者
黄晓荣、李小林
承担单位
力学所
收录情况
关键词
一等量块； 干涉条纹小数； 研合性； 温度；
摘要
以高精度干涉条纹小数测量、研合膜厚度的量化控制与量块内部温度测量为重点,对进行一等量块光波干涉测量的各要件进行了分析,并引用国际比对结果予以了验证。
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