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专利名称
一种激光干涉比长仪线纹瞄准系统及线纹间距测量方法
发明人
汤江文、、薛靓、杨桩、、高宏堂、张和君、徐传娣、彭元辉、谢开强、蒋丽
专利类别
发明
专利号
ZL202310365001.5
承担单位
申请日期
2023-04-07
授权日期
2023-06-30
内容摘要
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