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激光干涉比长仪工作基准装置

激光干涉比长仪工作基准装置是线纹尺类长度量值传递的重要标准器，该装置测量范围为（0~1000）mm，不确定度优于（0.1+0.1L）μm。，可承担高等别线纹尺（玻璃、金属）、光栅尺、各类线位移传感器测量装置量值溯源传递工作，置具有极为重要的社会经济价值。

3、激光干涉比长仪工作基准装置（高仪团队科研产品2）.jpg

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