同济大学专家来院围绕纳米计量技术开展学术交流
上传日期:2024-09-03
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8月29日,同济大学物理科学与工程学院院长、精密光学工程技术研究所所长程鑫彬教授,受邀来我院进行学术交流。
交流会上,程教授围绕“扁平化纳米计量与集成电路应用”主题,分享了纳米计量技术的最新进展及其对集成电路产业的深远影响,介绍了扁平化纳米计量技术在集成电路产业中的重要作用,并着重强调了其高精度、高通量的优势。
程教授还对我院机械研究所的扫描电子显微镜、原子力显微镜、微纳标准样板等先进测量设备的计量服务,以及纳米线宽标准装置的研究工作进展,给予了肯定,更是对“微纳米计量及先进材料计量测试技术”研究项目的建设与发展提出了宝贵建议,为后续技术研发与应用提供了思路和方向。
下一步,机械研究所将加强与同济大学及国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心的交流与合作,加大纳米计量及测试技术方法的研发力度,进一步完善我院纳米长度体系建设。