膜厚加工沉积是半导体、微电子、集成电路制造中的重要环节，膜厚量值大小，直接影响电子产品的质量、功能、可靠性及寿命。因此，膜厚量值的准确测量和溯源成为保证电子产品质量和相关产业发展的关键。近日，我院机械研究所作为参比实验室参加了中国计量科学研究院组织的B类国家计量比对——“金属膜厚量值计量比对”，测量结果与参考值之差在合理范围内，比对结果为满意。

作为国家和四川省法定计量技术机构，我院自建立镀层测厚仪及镀层膜厚计量标准以来，每年为全国各地数百台/件镀层测厚仪及镀层厚度标准片提供校准服务，为国防军工、半导体、集成电路产业的发展发挥了积极作用。

注：L8为中国测试技术研究院