纳米计量及材料实验室简介

1.微纳米计量

围绕集成电路及先进材料产业建立了微纳米计量能力，开展以下设备的溯源业务：

扫描电子显微镜（SEM）、白光干涉仪、共聚焦显微镜、高等别玻璃线纹尺、一维二维光学样板、微纳米线间隔标准样板、微纳米台阶高度（深度）标准样板、X射线衍射仪、动态光散射力度分析仪、光透沉降粒度仪、气溶胶粒径谱仪、微粒检测仪、物理吸附仪、静态热机械分析仪等。

2.材料测试

3.  联系方式：

检定/校准/检测/测试：

联系人：李兴兴     联系电话：028-84403721